SU-8相关论文
随着MEMS技术不断发展,除硅基材料之外,不断有各种新材料被开发用于MEMS器件的设计制造。在众多新型MEMS材料中,聚合物由于有多种......
由于其Q值高、结构尺寸小、模式体积小和没有自由光谱范围的限制等众多优势,硅基光子晶体纳米梁腔得到了越来越多的关注。但是,仍......
提出了一种解决SU 8 去胶难题的方法.该方法首先将SU- 8 微结构用PDMS进行复制,然后利用复制的PDMS微结构进行下一步的电铸,电铸完......
基于SU-8光刻胶的高深宽比加工技术,设计了对加速度敏感的悬臂梁-质量块结构。理论推导了加速度与SU-8光刻胶悬臂梁-质量块结构的......
介绍了基于阵列波导光栅(AWG)的单纤三向波分复用器的设计、仿真、制作与测试。利用阵列波导光栅的频谱周期性,采用越级衍射方法可......
提出了一种基于光刻胶牺牲层技术的用于制作多层次SU-8模具的新方法,并进一步采用浇注成型的方法制作了聚二甲基硅氧烷(PDMS)多层......
为了能得到植入在生物体内,用于体内微型电子系统与体外设备信号和能量传输的高品质因数Q值和高电感量L值的MEMS电感线圈,本文首先......
为了提高微驱动器的性能,提出了一种在氧化铟锡(ITO)玻璃上加工高深宽比SU-8微结构的方法.在导电玻璃的ITO层上涂覆一薄层AZ-4620......
MEMS螺线管型电感器由于具有很多优点,其用途或潜在用途相当广泛.为了获得高质量的MEMS螺线管型电感器,在充分利用SU-8特点的基础......
The volume expansion of SU-8 resist brings serious dimensional errors to electroformed structures. Two approaches have b......
设计了一种基于多模干涉(MMI)耦合输入/输出结构的跑道型双微环串联谐振滤波器,并采用紫外光敏聚合物材料SU-8作波导芯层,聚合物CY......
采用紫外光光刻、硅蚀刻及软光刻技术分别制备了阴性光刻胶SU-8和聚乳酸及聚羟基乙酸共聚物(PLGA)微小凹图式.以人神经母细胞瘤细......
作为应用于第三代同步辐射光源的一种重要X射线元件,复合折射透镜成为近年来X射线光学研究的热点之一。平面抛物形折射透镜是复合......
Microengines are regarded as the potential replacements for batteries. Aimed at the unsatisfactory thermal property of s......
本文通过对SU-82075负性光刻胶技术的研究，初步解决了厚胶工艺中易出现的胶的均匀性问题，并研究了厚胶曝光工艺。用EVG620型曝光机获......
SU-8负性光刻胶可通过UV-LIGA技术得到高深宽比微结构，是微机械系统（MEMS）制造中极具前景的一种技术。目前已有对于SU-8微结构的线宽......
In this paper,we report the study of the process of fabricating a multi-layermetal micro-structure using UV-LIGA overlay......
为了满足RF电路、电源电路、微执行器和微传感器等领域对高性能和工艺简单的电感器的广泛需求,用正、负胶结合的微加工工艺,在硅基......
利用SU-8光刻胶UV-LIGA技术制备了双层微齿轮,齿轮单层的厚度可达450 μm.制备中分别采用了三种工艺路线:两次电铸、溅射种子层一......
文章采用牺牲层刻蚀技术加工SU-8胶MEMS微结构,BP212正性光刻胶作为牺牲层,SU-8胶作为结构层。制造出的SU-8胶微结构完整,表面无裂......
研究了细胞培养器微注塑模具型腔的制作方法。针对微注塑模具型腔的结构特点,采用UV-LIGA套刻技术,分别通过两次SU-8胶光刻和Ni的......
为解决SU-8胶微电热驱动器在工作过程中存在平面外运动的问题,提出了一种具有铜-SU-8胶-铜三层对称结构的新型SU-8胶V形微电热驱动......
随着微电子机械系统制造工艺和先进的封装技术的不断发展,迫切需要厚抗蚀剂工艺技术.其在微电子机械系统的应用领域包括体硅微机械......
生物定量检测中，生物样品是否均匀混合的研究意义重要。石英晶体微质量天平（QCM）因其振幅谐振机理，而具备优异的超声混合性能。本文结......
紫外线厚胶光刻技术已广泛应用于3D微机械结构的制作.本文选用AZ4620和SU-8两种光刻厚胶,采用德国卡尔*休斯公司的MA-6双面对准光......
由于 SU-8光刻胶的内应力将会影响高深宽比结构的全金属光栅的制作质量，本文针对近年来 SU-8光刻胶应力测量困难的情况，提出了一种基......
研究了基于ST-90°X石英基片和SU-8波导层的乐甫波器件的温度特性。采用电极宽度控制单向单相（EWC/SPUDT）结构和铝电极,设计制作......
研究了一种以SU-8光刻胶为结构材料的微悬臂结构。通过控制紫外光刻过程中的曝光剂量,仅仅使光刻胶的上部分发生交联,下部分的光照......
在微电子机械系统(MEMS)中,大高宽比微结构被广泛应用.由于紫外光衍射效应比较大,通过紫外光刻获得高精度的大高度微结构并不容易.......
UV-LIGA技术是制作大高宽比微电子机械(MEMS)的方法之一,而UV-LIGA技术的关键工艺之一为深度紫外光刻.由于紫外光衍射效应影响紫外......
压电式喷墨打印头使用寿命长,能够使用多种不同类型的墨水及其他介质,包括黏度较高的树脂、导电材料、生物蛋白质等,目前已有在生......
透镜是构成光路系统中基本而又重要的光学元件，它属于被动光学元件，用来汇聚、发散、准直光辐射。透镜阵列是由相同的透镜按一定的顺......
为解决微泵自吸困难、难以实现流速精确控制等问题，利用MEMS技术研制出具有三明治结构和两被动阀的压电驱动微泵，其中泵腔、泵膜和阀......
在本课题的研究中，提出了一种利用水溶性钼酸钠铵纳米线和纳米探针系统来制备微纳流体系统的方法．借助这种方法可制备长度、直径以及......
针对医疗行业多指标检测的需求,利用微流控技术高通量的优势,设计出一款由离心力驱动的阵列化检测芯片。首先介绍了芯片所涉及的力......
SU-8负胶具有优异的力学性能、抗化学腐蚀性、热稳定性和生物兼容性,在MEMS工艺和器件中得到广泛应用。镍金属具有良好的力学性能......
随着光学技术的发展,微透镜及其阵列结构逐渐受到研究学者们的青睐,近些年来,微透镜及其阵列结构的制备方法也是层出不穷,比较成熟......
基于浸没透镜设计了一种超分辨成像系统,利用SU-8光刻胶和直径为4.87μm的微球实现纳米级别的超分辨成像。介绍微球成像放大率的求......
随着MEMS技术及微细加工技术的发展,金属微细阵列网板得到了越来越广泛的应用,如电子显微镜的透光栅网、喷墨打印机的喷板、纺织机......
随着微流体技术的发展，其在分析化学、免疫学、化学合成、基因测序、蛋白分离、蛋细胞分析等都得到了越来越广泛的应用。而纳米技术......
在对基片曲率法常用的Stoney公式进行必要修正的基础上,提出了适合计算SU-8胶层内应力的理论模型,并采用轮廓法直观地测量了内应力......
主要描述了用SU-8胶制造微流控芯片模具的方法,并在此基础上成功制备微流控芯片。讨论了其制备工艺流程,主要包括有前烘、中烘、光......
为了在微流体控制系统中实现对流体流速的控制和流体的单向流动，借鉴人体心脏瓣膜的结构，设计了新型被动式微阀。选用SU-8作为被动式......
昆虫复眼具有体积小、视场角大、灵敏度高等优点,是探测器中极佳的模型,仿生复眼也引起了众多科学家、军事学家、医学家的兴趣。同......
利用SU-8光刻胶光刻成型技术成功制备了具有进样孔、管道、贮液池和喷孔等结构的微喷阵列芯片，通过调节点样液中DMSO、硼酸盐和PBS......
为了使用微流体细胞仪实现对细胞的精确计数,设计和制作了能够真正实现三维聚焦功能的微流沟道。首先用Ansys软件对微流沟道的结构......
期刊
纸基微量检测装置是随微流控芯片技术发展而兴起的新热点。纸材料作为-种价廉易得、易于修饰和处理的材料被用作微检测的固相载体,......
